檢測裝置和檢測設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122637056.6 申請日 -
公開（公告）號 CN216117384U 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN216117384U 申請公布日 2022-03-22
分類號 G01N21/95（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 范鐸;劉健鵬;陳魯;張嵩 申請（專利權(quán)）人 深圳中科飛測科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張娜
地址 518110廣東省深圳市龍華區(qū)大浪街道同勝社區(qū)上橫朗第四工業(yè)區(qū)2號101、201、301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┮环N檢測裝置和檢測設(shè)備。檢測裝置包括主體、第一探測器、第二探測器、第一旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機構(gòu)和平移調(diào)節(jié)機構(gòu)，第一探測器和第二探測器均安裝在主體上且第一探測器和第二探測器并排設(shè)置。第一旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機構(gòu)用于驅(qū)動第二探測器相對主體繞第二探測器的光軸轉(zhuǎn)動以調(diào)節(jié)第二探測器的成像角度，以使第二探測器的成像角度與第一探測器的成像角度相同。平移調(diào)節(jié)機構(gòu)用于調(diào)節(jié)第二探測器與主體的相對位置以使第二探測器的拍攝視場中心與第一探測器的拍攝視場中心重合。如此，可通過第一旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機構(gòu)和平移調(diào)節(jié)機構(gòu)來使得第二探測器與第一探測器的成像角度相同以及使兩者的拍攝視場中心重合，保證第一探測器和第二探測器可以精準(zhǔn)地對準(zhǔn)晶圓的同一位置。