光束穩(wěn)定系統(tǒng)及檢測設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122560369.6 申請日 -
公開（公告）號 CN215931245U 公開（公告）日 2022-03-01
申請公布號 CN215931245U 申請公布日 2022-03-01
分類號 G01M11/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 辛自強;劉偉龍;方一;黃有為;陳魯;張嵩 申請（專利權(quán)）人 深圳中科飛測科技股份有限公司
代理機構(gòu) 深圳鼎合誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 彭家恩
地址 518000廣東省深圳市龍華區(qū)大浪街道同勝社區(qū)上橫朗第四工業(yè)區(qū)2號101、201、301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種光束穩(wěn)定系統(tǒng)及檢測設(shè)備，光束穩(wěn)定系統(tǒng)包括激光光源，第一反射鏡、第二反射鏡以及第三反射鏡以及第四反射鏡，光程調(diào)節(jié)組件、第一探測器、第五反射鏡、第二探測器、第一調(diào)節(jié)組件以及第二調(diào)節(jié)組件；激光光源發(fā)出的光線依次經(jīng)過第一反射鏡、第二反射鏡、第三反射鏡以及第四反射鏡后，傳輸出光束穩(wěn)定系統(tǒng)；透射經(jīng)過第二反射鏡的光線經(jīng)過光程調(diào)節(jié)組件后傳輸至第一探測器；透射經(jīng)過第四反射鏡的光線傳輸至第二探測器。通過光程調(diào)節(jié)組件，能夠調(diào)節(jié)激光光源的出射光線到第一探測器的光程，改變光束穩(wěn)定系統(tǒng)中第一探測器的檢測精度，從而方便根據(jù)第一探測器的檢測結(jié)果對激光光源的出射光線的穩(wěn)定性進行調(diào)節(jié)，提高光束穩(wěn)定系統(tǒng)的調(diào)節(jié)效率。