一種檢測裝置和檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010857187.2 申請日 -
公開（公告）號 CN114184138A 公開（公告）日 2022-03-15
申請公布號 CN114184138A 申請公布日 2022-03-15
分類號 G01B11/24（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I;F21S2/00（2016.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳魯;劉健鵬;范鐸;張鵬斌;張嵩 申請（專利權(quán)）人 深圳中科飛測科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙曉榮
地址 518109廣東省深圳市龍華區(qū)大浪街道同勝社區(qū)上橫朗第四工業(yè)區(qū)2號101、201、301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種檢測裝置和檢測方法。檢測裝置包括：照明組件和成像組件；照明組件包括：穹頂組件；成像組件包括：成像鏡頭和探測器；當(dāng)穹頂組件被點亮?xí)r，用于對待測物進行照明。穹頂組件位于成像組件的光軸的一側(cè)，且所述穹頂組件朝著背離所述光軸的方向凹陷。成像鏡頭用于收集經(jīng)待測物反射和/或散射的光并提供給探測器；探測器用于根據(jù)所述成像鏡頭收集的光形成對待測物的檢測圖像。由于穹頂組件能夠提供非常豐富的照明方向，因此，能夠?qū)Ρ粶y物的多種類型的區(qū)域進行豐富的照明，便于對這些多種類型的區(qū)域進行成像檢測。如此一來，提升了對待測物的檢測準(zhǔn)確性，避免調(diào)整待測物的角度或改變照射角度，進而提升了檢測效率和檢測量。