一種檢測(cè)方法和檢測(cè)設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010981796.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114199891A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114199891A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-18 |
| 分類號(hào) | G01N21/95（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 陳魯;方一;黃有為;魏林鵬 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 深圳中科飛測(cè)科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 李婷婷 |
| 地址 | 518109廣東省深圳市龍華區(qū)大浪街道同勝社區(qū)上橫朗第四工業(yè)區(qū)2號(hào)101、201、301 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種檢測(cè)方法和檢測(cè)設(shè)備，包括：提供檢測(cè)光，所述檢測(cè)光在待測(cè)物表面形成檢測(cè)光斑，所述檢測(cè)光經(jīng)所述待測(cè)物形成信號(hào)光；探測(cè)所述待測(cè)物表面探測(cè)區(qū)內(nèi)的第一信號(hào)光，所述探測(cè)區(qū)與所述檢測(cè)光斑至少部分重疊，調(diào)整第一信號(hào)光的檢測(cè)區(qū)域的尺寸，其中，調(diào)整第一信號(hào)光的檢測(cè)區(qū)域的尺寸包括：在對(duì)所述待測(cè)物遠(yuǎn)離其中心的區(qū)域進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，將檢測(cè)第一信號(hào)光的檢測(cè)區(qū)域調(diào)整為第一尺寸，在對(duì)所述待測(cè)物靠近其中心的區(qū)域進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，將檢測(cè)第一信號(hào)光的檢測(cè)區(qū)域調(diào)整為第二尺寸，在垂直于掃描方向的方向上，所述第一尺寸大于所述第二尺寸，以減小光斑內(nèi)外兩側(cè)的掃描速度差異，提高檢測(cè)的靈敏度。 |
