一種氮化硅化學(xué)機械拋光液

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201611070459.4 申請日 -
公開（公告）號 CN108117838B 公開（公告）日 2021-09-17
申請公布號 CN108117838B 申請公布日 2021-09-17
分類號 C09G1/02（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 周文婷 申請（專利權(quán)）人 安集微電子科技（上海）股份有限公司
代理機構(gòu) 北京大成律師事務(wù)所 代理人 李佳銘
地址 201201上海市浦東新區(qū)華東路5001號金橋出口加工區(qū)（南區(qū)）T6-9幢底層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種氮化硅化學(xué)機械拋光液，包括研磨顆粒、含一個或多個羧基基團(tuán)的化合物、含有長烷基鏈的陰離子表面活性劑。本發(fā)明氮化硅化學(xué)機械拋光液在提高SiN的拋光速度的同時可以Teos拋光速度，具有較高的SiN/Teos的選擇比，減少拋光后基材表面地缺陷，具有良好的市場適用性。