一種具有高氮化硅選擇性的化學(xué)機(jī)械拋光液

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201611070473.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN108117839B 公開(kāi)（公告）日 2021-09-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN108117839B 申請(qǐng)公布日 2021-09-17
分類號(hào) C09G1/02;H01L21/306 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹(shù)脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 周文婷;荊建芬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安集微電子科技（上海）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京大成律師事務(wù)所 代理人 李佳銘
地址 201201 上海市浦東新區(qū)華東路5001號(hào)金橋出口加工區(qū)（南區(qū)）T6-9幢底層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明旨在提供一種具有高氮化硅選擇性的化學(xué)機(jī)械拋光液，其含有研磨顆粒及含一個(gè)或多個(gè)羧基基團(tuán)的化合物。本發(fā)明具有較高的SiN拋光速度和較低的Teos拋光速度，具有較高的SiN/Teos的拋光速率選擇比；使用本發(fā)明可大大減少基板表面上的氧化物線路中的缺陷，本發(fā)明具有優(yōu)異的市場(chǎng)應(yīng)用前景。