一種用于阻擋層平坦化的化學(xué)機(jī)械拋光液

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201611231383.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN108250977B 公開（公告）日 2021-08-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN108250977B 申請(qǐng)公布日 2021-08-27
分類號(hào) C09G1/02（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 潘依君;荊建芬;姚穎;杜玲曦;楊俊雅;張建;蔡鑫元;宋凱;王雨春 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安集微電子科技（上海）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京大成律師事務(wù)所 代理人 李佳銘;沈汶波
地址 201201上海市浦東新區(qū)華東路5001號(hào)金橋出口加工區(qū)（南區(qū)）T6-9幢底層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種用于阻擋層平坦化的化學(xué)機(jī)械拋光液，其特征在于，包括研磨顆粒、唑類化合物、絡(luò)合劑、非離子表面活性劑和氧化劑，其中，所述非離子表面活性劑為聚乙二醇。其在較溫和的條件下具有高的阻擋層材料、介電層材料去除速率和可調(diào)的低介電材料、銅去除速率，并能在拋光過(guò)程中很好的控制碟型凹陷（Dishing）、介質(zhì)層侵蝕（Erosion）、金屬腐蝕的產(chǎn)生，以及減少表面污染物。具有優(yōu)異的市場(chǎng)應(yīng)用前景。