一種用于阻擋層平坦化的化學機械拋光液

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201611231383.9 申請日 -
公開（公告）號 CN108250977B 公開（公告）日 2021-08-27
申請公布號 CN108250977B 申請公布日 2021-08-27
分類號 C09G1/02（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應用;
發(fā)明人 潘依君;荊建芬;姚穎;杜玲曦;楊俊雅;張建;蔡鑫元;宋凱;王雨春 申請（專利權）人 安集微電子科技（上海）股份有限公司
代理機構 北京大成律師事務所 代理人 李佳銘;沈汶波
地址 201201上海市浦東新區(qū)華東路5001號金橋出口加工區(qū)（南區(qū)）T6-9幢底層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種用于阻擋層平坦化的化學機械拋光液，其特征在于，包括研磨顆粒、唑類化合物、絡合劑、非離子表面活性劑和氧化劑，其中，所述非離子表面活性劑為聚乙二醇。其在較溫和的條件下具有高的阻擋層材料、介電層材料去除速率和可調的低介電材料、銅去除速率，并能在拋光過程中很好的控制碟型凹陷（Dishing）、介質層侵蝕（Erosion）、金屬腐蝕的產(chǎn)生，以及減少表面污染物。具有優(yōu)異的市場應用前景。