一種化學機械拋光液

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710569718.6 申請日 -
公開（公告）號 CN109251671B 公開（公告）日 2021-09-17
申請公布號 CN109251671B 申請公布日 2021-09-17
分類號 C09G1/02 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應用;
發(fā)明人 李守田;尹先升;賈長征;王雨春 申請（專利權）人 安集微電子科技（上海）股份有限公司
代理機構 北京大成律師事務所 代理人 李佳銘;沈汶波
地址 201201 上海市浦東新區(qū)華東路5001號金橋出口加工區(qū)（南區(qū)）T6-9幢底層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種化學機械拋光液，包括溶膠型氧化鈰、含羥基的非離子型表面活性劑以及pH調節(jié)劑。本發(fā)明采用溶膠型氧化鈰研磨顆粒與含有羥基的非離子型表面活性劑配合使用的技術方案，在一定pH條件下，實現(xiàn)在幾乎不降低氧化硅的拋光速率的條件下，提高氧化硅對多晶硅的選擇比。