一種化學(xué)機械拋光液

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710570203.8 申請日 -
公開（公告）號 CN109251677B 公開（公告）日 2021-08-13
申請公布號 CN109251677B 申請公布日 2021-08-13
分類號 C09G1/02 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 李守田;尹先升;賈長征;王雨春 申請（專利權(quán)）人 安集微電子科技（上海）股份有限公司
代理機構(gòu) 北京大成律師事務(wù)所 代理人 李佳銘;沈汶波
地址 201201 上海市浦東新區(qū)華東路5001號金橋出口加工區(qū)（南區(qū)）T6-9幢底層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種化學(xué)機械拋光液，包含氧化鈰研磨顆粒、苯甲酸類化合物及pH調(diào)節(jié)劑。采用上述組分的拋光液，可以顯著提高其對二氧化硅介質(zhì)層的拋光速率，抑制氮化硅的拋光速率，提高二氧化硅對氮化硅的選擇比，同時克服現(xiàn)有技術(shù)中拋光速率不均勻的問題。