一種化學機械拋光液

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710569910.5 申請日 -
公開（公告）號 CN109251675B 公開（公告）日 2021-07-30
申請公布號 CN109251675B 申請公布日 2021-07-30
分類號 C09G1/02（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應用;
發(fā)明人 李守田;尹先升;賈長征;王雨春 申請（專利權）人 安集微電子科技（上海）股份有限公司
代理機構 北京大成律師事務所 代理人 李佳銘;沈汶波
地址 201201上海市浦東新區(qū)華東路5001號金橋出口加工區(qū)（南區(qū)）T6-9幢底層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種化學機械拋光液，包含氧化鈰磨料顆粒、聚季銨鹽及pH調節(jié)劑。本發(fā)明中的聚季銨鹽可控制氧化硅的拋光速率，使得在高壓下達到高的氧化硅拋光速率，在低壓下實現(xiàn)低的氧化硅的拋光速率，從而取得較低碟形凹陷（dishing）。