一種氮化硅化學(xué)機(jī)械拋光液

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201611070743.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN108117840B 公開(kāi)（公告）日 2021-09-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN108117840B 申請(qǐng)公布日 2021-09-21
分類號(hào) C09G1/02（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹(shù)脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 周文婷 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安集微電子科技（上海）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京大成律師事務(wù)所 代理人 李佳銘
地址 201201上海市浦東新區(qū)華東路5001號(hào)金橋出口加工區(qū)（南區(qū)）T6-9幢底層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種氮化硅化學(xué)機(jī)械拋光液，包括水和研磨顆粒，同時(shí)還包括含一個(gè)或多個(gè)羧基基團(tuán)的雜環(huán)類化合物、聚胺酸與烷醇胺化合物、pH調(diào)節(jié)劑和殺菌劑。本發(fā)明的拋光液可以提高氮化硅與二氧化硅拋光速度選擇比，以及氮化硅與多晶硅拋光速度選擇比，同時(shí)能夠具有顯著提高的氮化硅拋光速度以及減小的二氧化硅和多晶硅拋光速度，就有良好的市場(chǎng)應(yīng)用前景。