一種氮化硅化學(xué)機械拋光液

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201611070743.1 申請日 -
公開（公告）號 CN108117840B 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN108117840B 申請公布日 2021-09-21
分類號 C09G1/02（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 周文婷 申請（專利權(quán)）人 安集微電子科技（上海）股份有限公司
代理機構(gòu) 北京大成律師事務(wù)所 代理人 李佳銘
地址 201201上海市浦東新區(qū)華東路5001號金橋出口加工區(qū)（南區(qū)）T6-9幢底層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種氮化硅化學(xué)機械拋光液，包括水和研磨顆粒，同時還包括含一個或多個羧基基團的雜環(huán)類化合物、聚胺酸與烷醇胺化合物、pH調(diào)節(jié)劑和殺菌劑。本發(fā)明的拋光液可以提高氮化硅與二氧化硅拋光速度選擇比，以及氮化硅與多晶硅拋光速度選擇比，同時能夠具有顯著提高的氮化硅拋光速度以及減小的二氧化硅和多晶硅拋光速度，就有良好的市場應(yīng)用前景。