一種深紫外LED外延生長設備伸縮裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022119223.3 申請日 -
公開（公告）號 CN212991113U 公開（公告）日 2021-04-16
申請公布號 CN212991113U 申請公布日 2021-04-16
分類號 H01L21/20(2006.01)I;H01L33/00(2010.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳思 申請（專利權）人 南京南大光電工程研究院有限公司
代理機構 上海創(chuàng)開專利代理事務所（普通合伙） 代理人 汪發(fā)成
地址 210000江蘇省南京市經濟技術開發(fā)區(qū)恒園路龍港科技園B2棟1101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種深紫外LED外延生長設備伸縮裝置，涉及半導體生產裝置技術領域，針對現(xiàn)有的生產不穩(wěn)定的問題，現(xiàn)提出如下方案，其包括生產箱和齒輪組，所述生產箱的中間固定連接有的分隔板，所述分隔板的下方設置有與生產箱固定連接的第一電機，所述第一電機的輸出端通過齒輪組連接有第一變速箱，所述第一變速箱通過齒輪組固定套接有與生產箱轉動連接的旋轉軸，所述旋轉軸的外壁滑動套接有旋轉桿，本實用新型結構簡單，使用方便，可以實現(xiàn)放置板多角度的調節(jié)，改變與散氣箱的相對位置，同時可以改變噴氣箱出氣的位置，保證原料生長的穩(wěn)定和均勻，進而保證成品的質量，降低廢品率。??