一種含火山灰的晶圓電鍍板清洗液自動定量配制設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122580896.3 申請日 -
公開（公告）號 CN216726752U 公開（公告）日 2022-06-14
申請公布號 CN216726752U 申請公布日 2022-06-14
分類號 B01F27/80（2022.01）I;B01F35/71（2022.01）I;B01F35/21（2022.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 史志賀;張勇;陸鳴 申請（專利權(quán)）人 江蘇雷博微電子設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江陰市權(quán)益專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 214437江蘇省無錫市江陰市金山路201號創(chuàng)智園數(shù)碼港A座一樓東南
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型一種含火山灰的晶圓電鍍板清洗液自動定量配制設(shè)備，包含有料倉（2）、料斗（7）和攪拌罐（9），所述料倉（2）的底部出料口連接至螺旋輸送裝置（5）的進(jìn)料口，所述螺旋輸送裝置（5）的出料口連接至料斗（7）的頂部進(jìn)料口，所述料斗（7）的底部出料口與攪拌罐（9）的頂部進(jìn)料口之間相連通的波紋管上安裝有波紋管稱重傳感器（17）。本實(shí)用新型一種含火山灰的晶圓電鍍板清洗液自動定量配制設(shè)備，有效的提高了清洗液的配置生產(chǎn)效率。