柔性低輻射窗膜及其生產(chǎn)實(shí)時(shí)控制方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200310110607.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN1546722A 公開（公告）日 2004-11-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN1546722A 申請(qǐng)公布日 2004-11-17
分類號(hào) C23C14/06;C23C14/20;C23C14/35;C23C14/56 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 彭傳才;李京增;魏敏;胡云慧;余圣發(fā);鐘碧城;胡浩龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖南三才光電信息材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長(zhǎng)沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 代理人 湖南三才光電信息材料有限公司
地址 410007湖南省長(zhǎng)沙市芙蓉南路292號(hào)華順大廈八樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種柔性低輻射窗膜，它由鍍制在透明柔性基材上的多層薄膜構(gòu)成，該多層薄膜的膜系結(jié)構(gòu)是SiOx－SSOx－Ag(Au－ITO或SiOx－SSOx－Ag(Au)－ITO－Ag(Au)－ITO，其中，Ag(Au)膜層為在銀(Ag)中摻入重量比為15％－20％且均勻分布的金(Au)所組成的銀合金。所述窗膜的實(shí)時(shí)監(jiān)控方法是在多靶磁控濺射卷繞鍍膜機(jī)收料輥一側(cè)沿基膜橫向安裝多個(gè)發(fā)光二極管發(fā)射－接收探頭且這些探頭的發(fā)射光與所述基膜運(yùn)行方向垂直，所述光接收探頭的輸出信號(hào)經(jīng)放大器放大再由模數(shù)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信息送至單片計(jì)算機(jī)進(jìn)行比較處理后，通過接口與上位機(jī)聯(lián)接，由其控制靶功率輸出，從而實(shí)時(shí)控制連續(xù)多層鍍膜的厚度。