光學(xué)鏡組鏡面間隙測量裝置和測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610012510.X 申請日 -
公開（公告）號 CN105674902B 公開（公告）日 2018-04-17
申請公布號 CN105674902B 申請公布日 2018-04-17
分類號 G01B11/14 分類 測量；測試;
發(fā)明人 楊寶喜;師中華;胡小邦;魏張帆;李璟;陳明;黃惠杰 申請（專利權(quán)）人 北京國望光學(xué)科技有限公司
代理機構(gòu) 上海新天專利代理有限公司 代理人 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所;北京國望光學(xué)科技有限公司
地址 201800 上海市嘉定區(qū)上海市800-211郵政信箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種光學(xué)鏡組鏡面間隙測量裝置和測量方法，包括：低相干光源、激光測長光源、紅光指示光源、第一光纖耦合器、第二光纖耦合器、第三光纖耦合器、第一光纖環(huán)形器、第二光纖環(huán)形器、第一光纖準(zhǔn)直器、電機驅(qū)動移動平臺、可移動掃描反射鏡、第二光纖準(zhǔn)直器、四維調(diào)整架、可調(diào)焦準(zhǔn)直器、待測鏡組、安裝架、光纖后向反射鏡、光電探測器、平衡光電探測器、連接光纖。本發(fā)明通過平衡差分測量的方法，同時利用耦合器的兩路輸出，去除本底干擾信號，使干涉信號強度增大一倍，可用于光學(xué)鏡組的高精度裝調(diào)。