高定位精度的鏡片可更換的光刻物鏡鏡框
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201510881287.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN105467548B | 公開（公告）日 | 2018-05-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN105467548B | 申請(qǐng)公布日 | 2018-05-01 |
| 分類號(hào) | G02B7/02;G03F7/00 | 分類 | 光學(xué); |
| 發(fā)明人 | 陳華男;郭抗;倪明陽(yáng);李顯凌;張巍;隋永新;楊懷江 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 北京國(guó)望光學(xué)科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 長(zhǎng)春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;北京國(guó)望光學(xué)科技有限公司 |
| 地址 | 130033 吉林省長(zhǎng)春市東南湖大路3888號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 高定位精度的鏡片可更換的光刻物鏡鏡框?qū)儆谏钭贤馔队肮饪涛镧R結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與裝調(diào)技術(shù)領(lǐng)域，目的在于解決現(xiàn)有技術(shù)存在的結(jié)構(gòu)復(fù)雜、操作空間大、定位及重復(fù)定位精度低和鏡片易被污染的問(wèn)題。本發(fā)明的外鏡框?yàn)閳A筒結(jié)構(gòu)，外鏡框內(nèi)部?jī)蓚€(gè)側(cè)壁設(shè)置有滑槽，內(nèi)部側(cè)壁上設(shè)置有圓錐槽和V型槽，外鏡框內(nèi)部上端面靠近開口一端設(shè)置有球頭A；內(nèi)鏡框?yàn)榉叫谓Y(jié)構(gòu)，任意相對(duì)的兩個(gè)側(cè)壁上設(shè)置有滑軌，與滑軌所在側(cè)壁相鄰的一個(gè)側(cè)壁上設(shè)置有兩個(gè)球頭B，兩個(gè)球頭B的位置分別與圓錐槽和V型槽相對(duì)應(yīng)，方形結(jié)構(gòu)上端面與球頭A對(duì)應(yīng)位置處設(shè)置有上平臺(tái)；內(nèi)鏡框的滑軌與外鏡框內(nèi)的滑槽配合，內(nèi)鏡框外側(cè)設(shè)置有防護(hù)蓋，防護(hù)蓋與外鏡框通過(guò)螺釘固定連接。 |
