光刻機(jī)照明光瞳偏振態(tài)測量用光學(xué)系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510155835.9 申請日 -
公開（公告）號 CN104777609B 公開（公告）日 2018-07-13
申請公布號 CN104777609B 申請公布日 2018-07-13
分類號 G02B27/00;G03F7/20 分類 光學(xué);
發(fā)明人 蔡燕民;王向朝;步揚(yáng);唐鋒;黃惠杰 申請（專利權(quán)）人 北京國望光學(xué)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海恒慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所;北京國望光學(xué)科技有限公司
地址 201800 上海市嘉定區(qū)上海市800-211郵政信箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種光刻機(jī)照明光瞳偏振態(tài)測量用光學(xué)系統(tǒng)，沿所述光學(xué)系統(tǒng)的光軸方向依次包括：孔徑光闌、傅里葉變換物鏡、四分之一波片、檢偏器、中繼物鏡、像傳感器，該光學(xué)系統(tǒng)用于將針孔掩模版圖形面內(nèi)的針孔變換到像傳感器的靶面(即光敏面)內(nèi)。本發(fā)明能滿足像傳感器尺寸、四分之一波片和檢偏器的位置與尺寸要求，物方視場角較大、后工作距較長，整體結(jié)構(gòu)緊湊；并且滿足正弦條件的要求，球差、彗差、象散、場曲、波像差等都得到很好的校正。