光刻機(jī)照明均勻性校正裝置和校正方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710000725.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN107065443B 公開(kāi)（公告）日 2018-07-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN107065443B 申請(qǐng)公布日 2018-07-13
分類號(hào) G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 程偉林;張方;楊寶喜;黃惠杰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京國(guó)望光學(xué)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海恒慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所;北京國(guó)望光學(xué)科技有限公司
地址 201800 上海市嘉定區(qū)上海市800-211郵政信箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種光刻機(jī)照明均勻性校正裝置和校正方法，校正裝置包括基座、上校正模塊和下校正模塊。上校正模塊與下校正模塊放置于照明光場(chǎng)的掃描方向的兩側(cè)，且相對(duì)于照明光場(chǎng)非掃描方向?qū)ΨQ分布。其中上校正模塊與下校正模塊中均有一塊柔性薄板，通過(guò)控制該柔性薄板橫截面上不同點(diǎn)的位移來(lái)得到相應(yīng)的撓曲變形，并沿照明光場(chǎng)掃描方向運(yùn)動(dòng)進(jìn)入照明光場(chǎng)以遮擋部分照明光，從而達(dá)到校正照明均勻性的目的。因柔性薄板發(fā)生撓曲變形后的輪廓為連續(xù)曲線，所以本發(fā)明的裝置具有更高的校正能力和校正分辨率。