透鏡組鏡面間距的測量裝置和測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610012511.4 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN105674903B 公開（公告）日 2018-04-17
申請公布號(hào) CN105674903B 申請公布日 2018-04-17
分類號(hào) G01B11/14 分類 測量；測試;
發(fā)明人 楊寶喜;師中華;胡小邦;魏張帆;李璟;陳明;黃惠杰 申請（專利權(quán)）人 北京國望光學(xué)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海新天專利代理有限公司 代理人 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所;北京國望光學(xué)科技有限公司
地址 201800 上海市嘉定區(qū)上海市800-211郵政信箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種透鏡組鏡面間距的測量裝置和測量方法，裝置包括：低相干光源、激光測長光源、紅光指示光源、第一波分復(fù)用器、第二波分復(fù)用器、第三波分復(fù)用器、光纖耦合器、第一MEMS光開關(guān)、第二MEMS光開關(guān)、延遲掃描臂、可調(diào)焦準(zhǔn)直器、四維調(diào)整架、待測透鏡組、安裝架、光纖后向反射鏡、第一光電探測器、第二光電探測器、連接光纖、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)、數(shù)據(jù)處理單元。本發(fā)明具有測量范圍大及測量精度高的特點(diǎn)，測量精度可達(dá)到亞微米量級，可用于光學(xué)鏡組的高精度裝調(diào)。