一種轉臺擺角精密測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510974369.7 申請日 -
公開（公告）號 CN105571527B 公開（公告）日 2018-08-24
申請公布號 CN105571527B 申請公布日 2018-08-24
分類號 G01B11/26;G01B11/24 分類 測量；測試;
發(fā)明人 苗二龍;武東城;蘇東奇;高松濤;隋永新;楊懷江 申請（專利權）人 北京國望光學科技有限公司
代理機構 長春菁華專利商標代理事務所（普通合伙） 代理人 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所;北京國望光學科技有限公司
地址 130033 吉林省長春市東南湖大路3888號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明一種基于平面干涉儀的轉臺擺角精密測量方法，屬于光學檢測領域，解決了現(xiàn)有技術中測量轉臺擺角精度嚴重依賴標準件的質量的技術問題；本發(fā)明利用了干涉儀和標準平晶建立標準的平面干涉腔，并測量標準平晶在不同轉動角度下的干涉圖。利用Zernike多項式提取出標準平晶的傾斜量，統(tǒng)計傾斜量的變化就可以得到轉臺的轉動擺角；該方法簡便易行，測量精度高，能夠滿足精密轉臺擺角測量要求。