一種MOCVD設(shè)備反應(yīng)室噴淋口的清潔裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202123285300.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN216574396U | 公開（公告）日 | 2022-05-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216574396U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-05-24 |
| 分類號(hào) | B08B1/04（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;B08B15/04（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I;C30B25/02（2006.01）I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 仇成功;趙海明;胡新星;左萬勝;劉敏;唐建平;王麗多;袁松;鈕應(yīng)喜 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 安徽長(zhǎng)飛先進(jìn)半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蕪湖安匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 241000安徽省蕪湖市弋江區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)服務(wù)外包園3號(hào)樓1803 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型揭示了一種MOCVD設(shè)備反應(yīng)室噴淋口的清潔裝置，清潔裝置設(shè)有風(fēng)罩，所述風(fēng)罩的底板上固定有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸連接風(fēng)罩內(nèi)的刀座，所述刀座上固定有刀片，所述風(fēng)罩上設(shè)有抽塵孔，所述抽塵孔與軟管一端連接，所述軟管的另一端連接吸塵設(shè)備。本實(shí)用新型采用半自動(dòng)化代替手動(dòng)清潔，節(jié)省操作人員體力，提高工作效率，并且能夠減少手動(dòng)清潔時(shí)產(chǎn)生的大量顆粒物，進(jìn)而降低因顆粒物掉落至襯底表面而引起的外延層缺陷。 |
