一種光罩人工擦拭裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201320366113.4 申請日 -
公開（公告）號 CN203385992U 公開（公告）日 2014-01-08
申請公布號 CN203385992U 申請公布日 2014-01-08
分類號 G03F1/82(2012.01)I;G03F1/84(2012.01)I;B08B13/00(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 丁和平 申請（專利權(quán)）人 彩虹（佛山）平板顯示有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 代理人 彩虹（佛山）平板顯示有限公司
地址 528300 廣東省佛山市順德區(qū)大良街道五沙新悅路13號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種光罩人工擦拭裝置，包括支撐架，支撐架上設(shè)置有與光罩尺寸相匹配的旋轉(zhuǎn)平臺，旋轉(zhuǎn)平臺通過支撐旋轉(zhuǎn)軸承安裝在支撐架上；旋轉(zhuǎn)平臺的兩側(cè)設(shè)置有用于照亮旋轉(zhuǎn)平臺上的光罩的兩個表面檢查燈。本實(shí)用新型的旋轉(zhuǎn)臺的尺寸與光罩的尺寸相匹配，光罩能夠準(zhǔn)確卡在旋轉(zhuǎn)臺上，擦拭時不會前后左右移動；另外，旋轉(zhuǎn)平臺通過支撐旋轉(zhuǎn)軸承能在支撐架旋轉(zhuǎn)任意角度，保證能夠看到光罩上面任何一點(diǎn)的異物；最后，旋轉(zhuǎn)平臺的兩邊各有一臺燈頭可任意轉(zhuǎn)動的表面檢查燈，以達(dá)到所需要照射的角度；本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，成本低，完全適用于在小型生產(chǎn)線或?qū)嶒?yàn)室內(nèi)對光罩的人工擦拭。