晶體橫向生長設(shè)備及晶體橫向生長方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201910003186.9 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN109487330A | 公開(公告)日 | 2019-03-19 |
申請公布號 | CN109487330A | 申請公布日 | 2019-03-19 |
分類號 | C30B11/02(2006.01)I; C30B29/16(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 楊建春 | 申請(專利權(quán))人 | 無錫翌波晶體材料有限公司 |
代理機構(gòu) | 蘇州廣正知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 無錫翌波晶體材料有限公司 |
地址 | 214000 江蘇省無錫市錫山區(qū)芙蓉中三路99號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種晶體橫向生長設(shè)備及晶體橫向生長方法,該晶體橫向生長設(shè)備包括:爐體、第一保溫層、第二保溫層、高溫區(qū)、發(fā)熱體、導(dǎo)車和坩堝,爐體內(nèi)設(shè)置有第一保溫層和第二保溫層,導(dǎo)車置于第一保溫層和第二保溫層之間,第一保溫層和第二保溫層上均設(shè)置有高溫區(qū),高溫區(qū)的中心均設(shè)置有發(fā)熱體,坩堝裝于導(dǎo)車中。該晶體橫向生長方法包括以下步驟:將生長晶體所需的原料混合后填入坩堝中,然后將坩堝放入導(dǎo)車中,由導(dǎo)車將坩堝由低溫區(qū)移入高溫區(qū);原料融化變成液體,達到最大的液化狀態(tài),再慢慢移出高溫區(qū),液體慢慢按所需的晶格進行排列組合固化,生成晶體。本發(fā)明解決了晶體生長中底部壓力過大,坩堝難以承受從而導(dǎo)致坩堝變形漏液的情況。 |
