一種基板應(yīng)力傳感器及傳感設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111391741.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114112129A 公開（公告）日 2022-03-01
申請公布號 CN114112129A 申請公布日 2022-03-01
分類號 G01L1/20（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 袁輔德;秦文輝 申請（專利權(quán)）人 蘇州納芯微電子股份有限公司
代理機構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 呂鑫
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道88號人工智能產(chǎn)業(yè)園C1-501
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基板應(yīng)力傳感器，包括半導(dǎo)體基板；位于半導(dǎo)體基板表面的應(yīng)力感測電路；應(yīng)力感測電路包括兩個參考電阻、電流輸入模塊和電流鏡；參考電阻中包括至少一個同性參考電阻；同性參考電阻中電流各向同性，同性參考電阻包括第一電極、第二電極以及反應(yīng)層，第一電極與第二電極在平行于半導(dǎo)體基板表面的平面呈網(wǎng)狀分布；電流從第一電極流入同性參考電阻，并經(jīng)過反應(yīng)層從第二電極流出同性參考電阻；電流具有多個平行于半導(dǎo)體基板表面的電流分量。通過設(shè)置同性參考電阻，可以在半導(dǎo)體基板表面產(chǎn)生多方向的電流分量，達到對基板應(yīng)力的單一感度，有效節(jié)省生產(chǎn)成本與簡化相關(guān)電路配置。本發(fā)明還提供了一種傳感設(shè)備，同樣具有上述有益效果。