一種內設平衡流量結構的石英擴散管及其方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111511712.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114182353A 公開（公告）日 2022-03-15
申請公布號 CN114182353A 申請公布日 2022-03-15
分類號 C30B31/10（2006.01）I;C30B31/18（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 孔凡昌 申請（專利權）人 東海縣奧博石英制品有限公司
代理機構 連云港潤知專利代理事務所 代理人 王彥明
地址 222000江蘇省連云港市東?？h經(jīng)濟開發(fā)區(qū)黃河路9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種內設平衡流量結構的石英擴散管及其方法，屬于石英擴散管技術領域。為解決難以平衡流量以及分散氣體混合不徹底的問題，轉葉組件設置于石英管主體內部的尾端，轉葉組件的設置可以在混合氣體到達時帶動扇葉轉動，從而提高了擴散的強度，同時對氣體進行攪拌，提高了不同氣體的充分混合，入氣孔和出氣孔之間連接有導流通道，不同的氣體在壓力下，由入氣孔進入出氣孔排出，使得分散的氣體在出氣面進行交匯，提高了分散爐內不同氣體的混合速度，調節(jié)機構包括有通路組件和調節(jié)組件，通過旋轉旋鈕可以對阻流塊之間的開口大小進行調整，從而對石英管主體內部流量進行平衡調整，可以根據(jù)實際需求和燒結過程中的情況進行操作調整。