一種靶材及應(yīng)用該靶材的半導(dǎo)體器件加工設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011281403.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112295492A | 公開（公告）日 | 2021-02-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112295492A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-02 |
| 分類號(hào) | B01F13/10(2006.01)I; | 分類 | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 劉耀文;黃軍浩 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 光洋新材料科技（昆山）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 湯東鳳 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)吳淞江工業(yè)園晨豐路南側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種靶材及應(yīng)用該靶材的半導(dǎo)體器件加工設(shè)備，其技術(shù)方案是：包括混合筒，所述混合筒內(nèi)部設(shè)有混合機(jī)構(gòu)，所述混合機(jī)構(gòu)延伸出混合筒外部；所述混合機(jī)構(gòu)包括電機(jī)，所述電機(jī)固定設(shè)于混合筒頂部，所述電機(jī)通過(guò)輸出軸固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿設(shè)于混合筒頂部并延伸入混合筒內(nèi)部，所述混合筒內(nèi)部固定設(shè)有多個(gè)混合組件，所述混合組件包括固定箱，所述固定箱固定設(shè)于混合筒內(nèi)部，本發(fā)明的有益效果是：通過(guò)混合機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)，可以通過(guò)多個(gè)混合組件對(duì)原料進(jìn)行多次混合，而且在混合時(shí)，每次加入的一種新的原料進(jìn)行混合，在通過(guò)多個(gè)混合組件來(lái)進(jìn)行多次混合，充分的保證了原料的混合效果。?? |
