一種玻璃基板薄膜濺射靶材的制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011284457.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112323029A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-02-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112323029A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-05 |
| 分類號(hào) | C23C14/34(2006.01)I; | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 劉耀文;黃軍浩 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 光洋新材料科技（昆山）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 湯東鳳 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)吳淞江工業(yè)園晨豐路南側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種玻璃基板薄膜濺射靶材的制備方法，其技術(shù)方案是：包括基料、輔料和添加料，還包括以下加工步驟：S1：將基料、輔料和添加料均通過(guò)研磨機(jī)研磨成金屬粉末；S2：將S1中研磨得到的金屬粉末采用球磨機(jī)均勻混合，得到混合粉末；S3：將S2中的混合粉末放入酸溶液中浸泡清洗并攪拌，而后取出烘干，一種玻璃基板薄膜濺射靶材的制備方法有益效果是：通過(guò)設(shè)置金屬銀和金屬鉑為基礎(chǔ)原料，配以金屬銅、金屬金、金屬鈀和為輔料，同時(shí)再通過(guò)添加一定配比的金屬鋁、金屬錳和金屬錫對(duì)靶材性能改善提升，使得值得的靶材各方面性能優(yōu)異均衡，耐磨耐腐蝕能力較好，同時(shí)自身強(qiáng)度得到提升，韌性和延展性依然保留，具有較好的可塑性和延展性。?? |
