一種鎳鉑合金濺射靶材及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011286540.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112410608A 公開（公告）日 2021-02-26
申請公布號 CN112410608A 申請公布日 2021-02-26
分類號 C22C5/04(2006.01)I;C22C1/04(2006.01)I;B22F3/14(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C22C19/03(2006.01)I 分類 冶金；黑色或有色金屬合金；合金或有色金屬的處理;
發(fā)明人 林泓成;黃軍浩 申請（專利權(quán)）人 光洋新材料科技（昆山）有限公司
代理機構(gòu) 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 湯東鳳
地址 215000江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)吳淞江工業(yè)園晨豐路南側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種鎳鉑合金濺射靶材及其制備方法，其技術(shù)方案是：包括鉑粉和鎳粉，所述鉑粉和鎳粉質(zhì)量份數(shù)為：鉑粉05?65份，鎳粉35?95份。包括以下步驟：S1：將鉑粉和鎳粉混合均勻，并過濾大顆粒雜質(zhì)，保留大小均等的粉末狀顆粒；S2：將S1中過濾后保留下來的粉末顆粒倒入酒精內(nèi)浸泡清洗，一種鎳鉑合金濺射靶材及其制備方法有益效果是：通過使用粉末冶金的方式，區(qū)別于傳統(tǒng)的熔煉方法，粉末冶金得到的鎳鉑合金靶材具有更好的致密度，在實際使用測試中，其與基材擁有更好的附著性能，使用更加方便可靠，同時粉末冶金相對于傳統(tǒng)熔煉方法，使得其制備成本大大降低，制備步驟得到極大優(yōu)化，提高了制備效率，簡化了制備流程，從而提高其經(jīng)濟效益。??