一種銀合金靶材及其制備方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202011286562.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112323030A | 公開（公告）日 | 2021-02-05 |
| 申請公布號 | CN112323030A | 申請公布日 | 2021-02-05 |
| 分類號 | C23C14/34(2006.01)I; | 分類 | 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 林泓成;黃軍浩 | 申請（專利權(quán)）人 | 光洋新材料科技（昆山）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 湯東鳳 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)吳淞江工業(yè)園晨豐路南側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種銀合金靶材及其制備方法，其技術(shù)方案是：包括金屬銀、金屬元素添加劑、稀土元素添加劑和非金屬元素添加劑，其中各成分質(zhì)量份數(shù)為：金屬銀：90?99份，金屬元素添加劑：1?3份，稀土元素添加劑：0.001?0.1份，所述金屬銀純度至少為99.99％，一種銀合金靶材及其制備方法有益效果是：通過將金屬銀、金屬元素添加劑、稀土元素添加劑添加劑按一定配比進(jìn)行熔煉得到銀合金靶材，使得制得的銀合金靶材相對于傳統(tǒng)銀合金靶材具有更加優(yōu)異的性能，其與基材的附著能力得到極大提升，從而使得本發(fā)明制得的銀合金靶材在實(shí)際使用中，也將具有更大的優(yōu)勢，對基材具有更為優(yōu)秀的附著能力，使用中將更加可靠。?? |
