一種叉指背接觸電池的制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111161024.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114093980A 公開（公告）日 2022-02-25
申請公布號 CN114093980A 申請公布日 2022-02-25
分類號 H01L31/18（2006.01）I;H01L21/265（2006.01）I;H01L21/22（2006.01）I;H01L31/0224（2006.01）I;H01L31/068（2012.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 高嘉慶;屈小勇;吳翔;張博;楊愛靜;張?zhí)旖?/td> 申請（專利權）人 國家電投集團黃河上游水電開發(fā)有限責任公司
代理機構 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 代理人 孫偉峰
地址 810007青海省西寧市東川工業(yè)園金硅路4號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 提供了一種叉指背接觸電池及其制作方法，所述制作方法包括：提供N型硅片襯底，并對襯底進行雙面制絨；在襯底的背面形成依次交替呈直線排列的P+摻雜區(qū)和N+摻雜區(qū)；在襯底的正面進行磷擴散處理，形成磷摻雜層；在襯底的摻雜區(qū)上形成第一氮化硅層，且在磷摻雜層上形成第二氮化硅層；在襯底的第一氮化硅層上分別形成正電極和負電極，以獲得所述叉指背接觸電池。本發(fā)明所提供的叉指背接觸電池及其制作方法，通過分別對電池的背面和正面進行磷摻雜，且在對電池的正面進行高溫磷擴散的同時對電池的背面進行磷離子注入的退火，從而實現(xiàn)單獨控制電池的正面方阻、背面方阻和鈍化性能的效果，有利于提升電池的轉換效率。