微型致動器
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202020258665.3 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN211764261U | 公開(公告)日 | 2020-10-27 |
申請公布號 | CN211764261U | 申請公布日 | 2020-10-27 |
分類號 | B41J2/07(2006.01)I | 分類 | 印刷;排版機;打字機;模印機〔4〕; |
發(fā)明人 | 胡兆斌;王貝;范加義 | 申請(專利權(quán))人 | 蘇州英捷飛微機電有限公司 |
代理機構(gòu) | 南京利豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) | 代理人 | 蘇州英捷飛微機電有限公司;蘇州英加特噴印科技有限公司 |
地址 | 215000江蘇省蘇州市吳中區(qū)木瀆鎮(zhèn)楓華商業(yè)廣場2幢1246室 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實用新型公開了一種微型致動器,其包括致動器主體,致動器主體內(nèi)間隔設(shè)置有復(fù)數(shù)條導(dǎo)流槽,導(dǎo)流槽的兩側(cè)壁上沿導(dǎo)流槽的長度方向設(shè)置有驅(qū)動電極;蓋板,蓋板蓋合于致動器主體的頂面并封堵復(fù)數(shù)個導(dǎo)流槽的上部開口,從而形成復(fù)數(shù)個致動器腔室;以及端板膜,端板膜上設(shè)置有復(fù)數(shù)個噴孔,每個噴孔均與導(dǎo)流槽的出口端連通,端板膜包括層疊設(shè)置的金屬端板膜和絕緣材料膜層,絕緣材料膜層設(shè)置于金屬端板膜與導(dǎo)流槽相對一側(cè)的表面。本實用新型實施例提供的微型致動器,在金屬端板膜靠近電極的一側(cè)設(shè)置液體聚酰亞胺膜,改善了由于鋯鈦酸鉛壓電陶瓷形變而與端板膜之間粘結(jié)性變差的情況;并且液體聚酰亞胺膜能夠防止電極與金屬端板膜接觸而短路。?? |
