胺鈦化合物及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010128592.0 申請日 -
公開（公告）號 CN111253433A 公開（公告）日 2020-06-09
申請公布號 CN111253433A 申請公布日 2020-06-09
分類號 C07F7/28(2006.01)I 分類 有機(jī)化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 周健;黃藝 申請（專利權(quán)）人 蘇州欣溪源新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 蘇州欣溪源新材料科技有限公司
地址 215000江蘇省蘇州市張家港保稅區(qū)石化交易大廈1120-3室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種胺鈦化合物及其制備方法，屬于有機(jī)化學(xué)技術(shù)領(lǐng)域。該胺鈦化合物的制備方法包括以下步驟：(1)將烷烴溶劑和二烷基胺混勻，在低溫下滴加正丁基鋰，在室溫下攪拌后得到溶解有二烷基氨基鋰的烷烴乳濁液；(2)在低溫下向步驟1制得的烷烴乳濁液中滴加四氯化鈦，滴加完畢后升溫進(jìn)行反應(yīng)，制得四(二烷基氨基鈦)；(3)在低溫下向步驟2制得的四(二烷基氨基鈦)中滴加肼，滴加完畢后進(jìn)行升溫反應(yīng)，之后減壓蒸餾并收集得到餾分1，2?三(二烷基胺基)鈦?肼。本發(fā)明高收率低成本，利于工業(yè)上量化生產(chǎn)，產(chǎn)品穩(wěn)定性好，有利于經(jīng)原子層沉積形成含鈦膜，尤基是良好的氮化鈦薄膜。??