一種類晶體加熱裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022877920.5 申請日 -
公開(公告)號 CN214032762U 公開(公告)日 2021-08-24
申請公布號 CN214032762U 申請公布日 2021-08-24
分類號 C30B35/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 唐珊珊;陳志軍;陳偉;李林東 申請(專利權(quán))人 包頭阿特斯陽光能源科技有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 胡彬
地址 215129江蘇省蘇州市蘇州高新區(qū)鹿山路199號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及類晶體加工技術領域,尤其涉及一種類晶體加熱裝置。該類晶體加熱裝置包括類晶體反應平臺、加熱組件以及固定機構(gòu),其中,加熱組件設置在類晶體反應平臺的下方,固定機構(gòu)包括支撐組件以及連接件,支撐組件用于支撐加熱組件,連接件的兩端分別連接支撐組件和類晶體反應平臺,可以避免在加熱組件上加工安裝孔,保證加熱組件的完整性以及工作穩(wěn)定性,加熱組件在高溫下發(fā)生變形時可以在支撐組件的上方進行自由偏移,避免連接桿受到加熱組件的橫向剪切力,保證連接桿的支撐穩(wěn)定性。此外,支撐組件與加熱組件絕緣接觸或支撐組件與連接件絕緣接觸,可以避免加熱組件與類晶體反應平臺發(fā)生導電現(xiàn)象,保證加熱組件的正常工作。