一種硅晶片清洗裝置及其工藝
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201910675350.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112309886A | 公開（公告）日 | 2021-02-02 |
| 申請公布號 | CN112309886A | 申請公布日 | 2021-02-02 |
| 分類號 | H01L21/67(2006.01)I; | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 陳春成;戚建靜 | 申請（專利權(quán)）人 | 江蘇晶品新能源股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 225600江蘇省揚(yáng)州市高郵市送橋鎮(zhèn)天山工業(yè)集中區(qū) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了硅晶片技術(shù)領(lǐng)域的一種硅晶片清洗裝置，包括清洗箱，所述清洗箱的底部四角處均設(shè)置有支腳，所述清洗箱的底部左側(cè)外壁上通過支架安裝有電機(jī)，所述電機(jī)的右側(cè)動力端上安裝有轉(zhuǎn)軸，且轉(zhuǎn)軸的右側(cè)端部貫穿清洗箱的外壁通過兩組相互嚙合的錐形齒輪與轉(zhuǎn)桿的底部連接，所述轉(zhuǎn)桿的底部外壁上通過軸承套接有固定板，且轉(zhuǎn)桿的上部外壁上通過軸承插接在防水板的內(nèi)腔中，且固定板和防水板均固定安裝在清洗箱的左側(cè)內(nèi)壁上，該硅晶片清洗工藝，通過夾持裝置，可以將待清洗的硅晶片進(jìn)行穩(wěn)定的夾持，避免在清洗過程中出現(xiàn)脫落損壞的現(xiàn)象，通過純水、檸檬酸水和堿水依次對硅晶片進(jìn)行清洗操作，有效的提高了硅晶片的清洗效率。?? |
