慣性傳感器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110791961.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113401862A 公開（公告）日 2021-09-17
申請公布號 CN113401862A 申請公布日 2021-09-17
分類號 B81B7/04（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 莊瑞芬;胡維;李剛 申請（專利權(quán)）人 蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京布瑞知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王海臣
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號NW9樓102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┝艘环N慣性傳感器及其制備方法，解決了現(xiàn)有技術(shù)中批量生產(chǎn)的慣性傳感器的性能均一性較差和電互聯(lián)難度高的問題。其中，慣性傳感器的制備方法包括：提供第一基板，第一基板包括第一導(dǎo)電層；提供第二基板，第二基板包括第一襯底，第一襯底的材料為單晶材料；將第一導(dǎo)電層和第一襯底結(jié)合在一起，形成結(jié)合界面；形成可動(dòng)元件，可動(dòng)元件包括至少部分第一襯底。