壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120442198.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214277274U 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN214277274U 申請公布日 2021-09-24
分類號 G01L9/06（2006.01）I;G01L1/18（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 呂萍;胡維;李剛 申請（專利權(quán)）人 蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司
代理機構(gòu) 北京布瑞知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 秦衛(wèi)中
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號NW9樓102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┝艘环N壓力傳感器，該壓力傳感器包括：襯底，襯底中設(shè)置有收容腔；壓力傳感器主體，設(shè)置在收容腔中；第一梁結(jié)構(gòu)，設(shè)置在收容腔中，并連接壓力傳感器主體與襯底，使得壓力傳感器主體懸浮于收容腔中；阻擋層，設(shè)置在壓力傳感器主體遠(yuǎn)離襯底的一側(cè)，阻擋層靠近襯底的表面上設(shè)置有第一凸起狀結(jié)構(gòu)。本申請實施例提供的壓力傳感器能夠有效地提高壓力傳感器的可靠性和抗沖擊性。