骨傳導(dǎo)傳感器芯片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110616380.1 申請日 -
公開(公告)號 CN113277464A 公開(公告)日 2021-08-20
申請公布號 CN113277464A 申請公布日 2021-08-20
分類號 B81B7/02(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 徐復(fù);梅嘉欣;莊瑞芬 申請(專利權(quán))人 蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司
代理機構(gòu) 北京布瑞知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王海臣
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號NW9樓102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┝艘环N骨傳導(dǎo)傳感器芯片,解決了現(xiàn)有技術(shù)中的骨傳導(dǎo)傳感器芯片的靈敏度不穩(wěn)定的問題。其中,骨傳導(dǎo)傳感器芯片包括:振動膜;質(zhì)量塊,位于振動膜的一側(cè);以及止擋結(jié)構(gòu),用于限制質(zhì)量塊在平行于振動膜的方向上的振動幅度。