一種硅片清洗電控機(jī)構(gòu)中的凈化系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120120740.4 申請日 -
公開（公告）號 CN215142728U 公開（公告）日 2021-12-14
申請公布號 CN215142728U 申請公布日 2021-12-14
分類號 B08B3/08（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;B01D53/40（2006.01）I;B01D53/42（2006.01）I;H05K7/20（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 艾傳令;孫毅;李天龍;劉繼明;田志偉;賈煥營;于浩;史丹梅;尹騰 申請（專利權(quán)）人 天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津諾德知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 欒志超
地址 300384天津市濱海新區(qū)華苑產(chǎn)業(yè)區(qū)（環(huán)外）海泰東路12號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種硅片清洗電控機(jī)構(gòu)中的凈化系統(tǒng)，包括電控部、降溫部和處理部，所述降溫部向所述電控部內(nèi)通入低溫?zé)o害氣體，以使所述電控部內(nèi)部的溫度在恒定范圍內(nèi)；同時所述處理部可向所述電控部中通入其所需的酸和/或堿氣體，以使所述電控部內(nèi)的清洗藥液被中和處理，再被排出所述電控部外，以凈化所述電控部中電器元件的工作環(huán)境。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)設(shè)置簡單，易于控制，實(shí)用性強(qiáng)且凈化效率高；不僅可去除電氣柜中的酸堿液體以及水蒸汽液體，而且還可將電氣柜中的溫度降溫散熱，使電器元件始終在一定溫度下穩(wěn)定且安全地工作；自動化程度高，可確保電控部中所有電器元件工作環(huán)境的凈化，提升電氣元件工作的穩(wěn)定性，降低生產(chǎn)成本。