一種硅片清洗承載裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020845447.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212494238U | 公開（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212494238U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-09 |
| 分類號(hào) | B08B3/04(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 古元甲;史丹梅;趙朋占;辛超;劉沛然;王少剛;田志民;孫毅;艾傳令;郝紅月;蘭爽 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 欒志超 |
| 地址 | 300384天津市濱海新區(qū)華苑產(chǎn)業(yè)區(qū)(環(huán)外)海泰東路12號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種硅片清洗承載裝置，具有相對(duì)設(shè)置的側(cè)板和端板，所述側(cè)板高度方向設(shè)有若干貫穿其厚度的插槽；所述插槽上端面和下端面均為斜面；所述插槽最大寬度不小于硅片直徑；所述插槽上端面寬度不小于所述插槽下端面寬度。本實(shí)用新型提出的清洗承載裝置，適用多種尺寸規(guī)格的硅片承載，最大限度地提高溶液流通的效率，加速硅片清洗，提高清洗質(zhì)量，高效的溶液流通可進(jìn)一步減小承載裝置的變形，提高承載裝置的使用壽命；同時(shí)還易于生產(chǎn)過程中自動(dòng)化識(shí)別的控制，且通用性強(qiáng)，適用于插片和清洗過程中工裝夾具的固定。?? |
