一種低噪聲的SOA-PIN集成光探測器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910638464.8 申請日 -
公開(公告)號 CN110336184A 公開(公告)日 2019-10-15
申請公布號 CN110336184A 申請公布日 2019-10-15
分類號 H01S5/34;H01S5/12;H01S5/06;H01S5/042;H04B10/69 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙佳;王作佳;周玉蘭;董智星;黃衛(wèi)平;李洵;王衡;杜劉革 申請(專利權(quán))人 上海曼光信息科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 青島華慧澤專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 劉娜
地址 201210 上海市浦東新區(qū)中科路1867號C座9樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種低噪聲的SOA?PIN集成光探測器,沿信號光傳播方向依次包括:SOA部分、PIN部分和全反射鏡,所述SOA部分和PIN部分底部共用同一底部電極,頂部為獨(dú)立設(shè)置的SOA頂部電極和PIN頂部電極,全反射鏡位于PIN部分的的外側(cè),所述SOA部分包括光柵空間濾波結(jié)構(gòu)層,其方向?yàn)檠刂盘柟獾膫鞑シ较颍景l(fā)明所公開的低噪聲的SOA?PIN集成光探測器體積小、成本較低、適合大規(guī)模生產(chǎn),具有很好的濾除噪聲、提高信噪比的作用。