基于微環(huán)諧振腔的硅基熱光調(diào)制器
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201410582981.5 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN104280899B | 公開(kāi)(公告)日 | 2016-11-23 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN104280899B | 申請(qǐng)公布日 | 2016-11-23 |
分類(lèi)號(hào) | G02F1/01(2006.01)I | 分類(lèi) | 光學(xué); |
發(fā)明人 | 趙佳;李祥鵬 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 | 上海曼光信息科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 濟(jì)南金迪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 寧欽亮 |
地址 | 201210 上海市浦東新區(qū)中科路1867號(hào)C座9樓 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 一種基于微環(huán)諧振腔的硅基熱光調(diào)制器,包括硅襯底和二氧化硅下包層,二氧化硅下包層設(shè)置在硅襯底上,二氧化硅下包層上設(shè)置有兩個(gè)直波導(dǎo)和—個(gè)環(huán)形波導(dǎo),兩個(gè)直波導(dǎo)分別作為接收入射光的主信道波導(dǎo)和輸出出射光的下信道波導(dǎo),環(huán)形波導(dǎo)置于兩個(gè)直波導(dǎo)之間,并與兩個(gè)直波導(dǎo)之間填充聚合物,兩側(cè)聚合物表面均覆蓋有熱電極。本發(fā)明在微環(huán)諧振腔的主信道波導(dǎo)與環(huán)形波導(dǎo)以及環(huán)形波導(dǎo)與下信道波導(dǎo)之間填充聚合物,并且在聚合物上分別覆蓋熱電極,通過(guò)控制兩個(gè)熱電極電壓,改變聚合物材料的折射率,從而改變光在直波導(dǎo)到環(huán)形波導(dǎo)之間的光程,使諧振波長(zhǎng)發(fā)生漂移,實(shí)現(xiàn)對(duì)光信號(hào)的調(diào)制,具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易制作、調(diào)制效率高的特點(diǎn)。 |
