多晶硅生產(chǎn)用氫氣、除雜方法及系統(tǒng)、多晶硅生產(chǎn)方法及系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110501053.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113321183A 公開（公告）日 2021-08-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN113321183A 申請(qǐng)公布日 2021-08-31
分類號(hào) C01B3/52（2006.01）I;C01B3/50（2006.01）I;C30B35/00（2006.01）I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 武珠峰;吳昌勇;宋高杰;張治錦;劉興平;宋正平;潘從偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 新特能源股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 羅建民;鄧伯英
地址 014100內(nèi)蒙古自治區(qū)包頭市土默特右旗新型工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種多晶硅生產(chǎn)用氫氣、除雜方法及系統(tǒng)、多晶硅生產(chǎn)方法及系統(tǒng)，除雜方法包括以下步驟：將多晶硅生產(chǎn)用氫氣通入沸騰的三氯氫硅中，以使其內(nèi)部分水與三氯氫硅反應(yīng)，從三氯氫硅中逸出的氣相再與噴淋而下的霧化的三氯氫硅接觸，以使其內(nèi)剩余水蒸氣與三氯氫硅反應(yīng)，得到除水的氣相；所述除水的氣相再經(jīng)冷凝，以將其內(nèi)的汽化三氯氫硅液化，得到除雜的多晶硅生產(chǎn)用氫氣。本發(fā)明能在不引入外界雜質(zhì)的前提下，將多晶硅生產(chǎn)用氫氣中的水分干燥至1PPm以下。