一種三氯氫硅合成方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110500760.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113387363A 公開（公告）日 2021-09-14
申請公布號 CN113387363A 申請公布日 2021-09-14
分類號 C01B33/107（2006.01）I 分類 無機化學;
發(fā)明人 武珠峰;夏進京;劉興平;吳昌勇;馬金杉;潘從偉 申請（專利權(quán)）人 新特能源股份有限公司
代理機構(gòu) 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 羅建民;鄧伯英
地址 014100內(nèi)蒙古自治區(qū)包頭市土默特右旗新型工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種三氯氫硅合成方法，將硅粉原料經(jīng)流化進行冷氫化反應合成三氯氫硅，得到冷氫化合成反應混合氣；先分離出冷氫化反應后的冷氫化合成反應混合氣中的大顆粒硅粉，得到第一除塵氣,并將所述大顆粒硅粉返回到流化過程中繼續(xù)進行冷氫化反應；再分離出所述第一除塵氣中的小顆粒硅粉，得到三氯氫硅；將所述小顆粒硅粉與氯化氫進行氯化反應生成三氯氫硅。本發(fā)明還公開一種三氯氫硅合成系統(tǒng)。本發(fā)明可實現(xiàn)硅粉高效率利用，降低硅單耗。