一種用于芯片測(cè)試機(jī)的自動(dòng)校準(zhǔn)方法及其應(yīng)用
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011217240.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112462312B | 公開（公告）日 | 2021-08-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112462312B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-06 |
| 分類號(hào) | G01R35/00 | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 張經(jīng)祥;魏津;蔣子凡 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 勝達(dá)克半導(dǎo)體科技（上海）股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海專益專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 方燕娜;王雯婷 |
| 地址 | 201799 上海市青浦區(qū)清河灣路1130號(hào)1幢1層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種用于芯片測(cè)試機(jī)的自動(dòng)校準(zhǔn)方法及其應(yīng)用，包括以下步驟：獲取芯片測(cè)試機(jī)的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)并根據(jù)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)繪制散點(diǎn)圖；分別計(jì)算散點(diǎn)圖中相鄰的每?jī)牲c(diǎn)的斜率(斜率數(shù)據(jù))；將散點(diǎn)圖中散點(diǎn)按照橫坐標(biāo)或縱坐標(biāo)分為K1和K2兩部分；分別針對(duì)K1和K2，分別計(jì)算第一個(gè)斜率數(shù)據(jù)、前2個(gè)斜率數(shù)據(jù)……所有斜率數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)差得到K1和K2的標(biāo)準(zhǔn)差數(shù)據(jù)組；分別篩選兩標(biāo)準(zhǔn)差數(shù)據(jù)組中的標(biāo)準(zhǔn)差最大值，以該標(biāo)準(zhǔn)差最大值對(duì)應(yīng)的點(diǎn)作為分段點(diǎn)將所有散點(diǎn)分為三段，分別進(jìn)行曲線擬合得到擬合曲線。本發(fā)明的方法，采用斜率標(biāo)準(zhǔn)差法選取分段點(diǎn)，為芯片測(cè)試機(jī)測(cè)試數(shù)據(jù)的校準(zhǔn)提供了一種標(biāo)準(zhǔn)化且可全自動(dòng)完成的操作標(biāo)準(zhǔn)，極具應(yīng)用前景。 |
