一種藍寶石單晶爐坩堝位移裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022754757.3 申請日 -
公開（公告）號 CN214736213U 公開（公告）日 2021-11-16
申請公布號 CN214736213U 申請公布日 2021-11-16
分類號 C30B29/20（2006.01）I;C30B35/00（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 陳宏;郝貴榮;杜晶;梁浩;張國威;李慶 申請（專利權）人 山西中聚晶科半導體有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 030060山西省晉中市榆次區(qū)山西示范區(qū)晉中開發(fā)區(qū)匯通產業(yè)園區(qū)機械園2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型一種藍寶石單晶爐坩堝位移裝置，包括長度調節(jié)桿，長度調節(jié)桿的兩側設置有與坩堝內壁貼合的弧形彈性支撐部。弧形彈性支撐部包括固定相連的第一弧形片和第二弧形片，兩個弧形片可以形成可受力的彈簧板，當受力超出彈簧板范圍會發(fā)生形變，從而保證坩堝不會被從內部撐開而損傷坩堝，兩根桿體，中間可以對接在一起，通過中間的螺絲扣轉動，調節(jié)長度調節(jié)桿的長度，受力作用在坩堝內壁，然后即可以轉動坩堝，微調坩堝的位置，使坩堝四周的距離在允許的誤差范圍內。本實用新型結構簡單，制作成本低，減少坩堝操作中的人工成本，提高藍寶石晶體生長質量。