一種藍寶石單晶爐波紋管位移裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023302102.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214736214U 公開（公告）日 2021-11-16
申請公布號 CN214736214U 申請公布日 2021-11-16
分類號 C30B29/20（2006.01）I;C30B15/30（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 陳宏;郝貴榮;張國威;杜晶;梁浩;李慶 申請（專利權）人 山西中聚晶科半導體有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 030060山西省晉中市榆次區(qū)山西示范區(qū)晉中開發(fā)區(qū)匯通產(chǎn)業(yè)園區(qū)機械園2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型一種藍寶石單晶爐波紋管位移裝置，屬于藍寶石長晶技術領域；本裝置包括支撐座、第一支撐桿、第二支撐桿、弧型支撐部和第一螺栓，第一螺栓與支撐座可旋轉地連接，第一螺栓與第一支撐桿的一端樞接，第一支撐桿的另一端與第二支撐桿的一端樞接，第二支撐桿的另一端與弧型支撐部樞接，弧型支撐部用于對波紋管進行夾持，使位于波紋管內部的籽晶桿朝一個方向傾斜。本裝置能夠對波紋管內的籽晶桿進行推移，從而使藍寶石晶錠脫離坩堝，以保證晶體的熱應力充分釋放。