一種硅片的生產設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120899325.3 申請日 -
公開（公告）號 CN214672534U 公開（公告）日 2021-11-09
申請公布號 CN214672534U 申請公布日 2021-11-09
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 高文秀;趙百通;佐佐木實;高向曈 申請（專利權）人 宜興市昱元能源裝備技術開發(fā)有限公司
代理機構 無錫智麥知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 宋春榮
地址 214000江蘇省無錫市宜興經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)文莊路8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種硅片的生產設備，包括依次設置的初始存放部分R1、檢測部分R2、硅片形成部分R3、退火部分R4、pn結形成部分R5、緩沖部分R6，以及設置于相鄰部分之間的輸送機構，每一個部分均包括一腔體，每一個所述腔體的入口端和出口端均設置有一個閥門，且位于上一所述腔體出口端的所述閥門與位于下一所述腔體入口端的所述閥門之間設有所述輸送機構。本實用新型利用多個封閉的腔體和輸送機構進行生產硅薄片和輸送基板，使用方便，硅片生產效率高，自動化程度高，無需切割等磨損硅片的操作。