一種硅片的生產(chǎn)設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110467037.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113224205A 公開（公告）日 2021-08-06
申請公布號 CN113224205A 申請公布日 2021-08-06
分類號 H01L31/18;H01L21/67;H01L21/677 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 高文秀;趙百通;佐佐木實(shí);高向曈 申請（專利權(quán)）人 宜興市昱元能源裝備技術(shù)開發(fā)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫智麥知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 宋春榮
地址 214000 江蘇省無錫市宜興經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)文莊路8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅片的生產(chǎn)設(shè)備，包括依次設(shè)置的初始存放部分R1、檢測部分R2、硅片形成部分R3、退火部分R4、pn結(jié)形成部分R5、緩沖部分R6，以及設(shè)置于相鄰部分之間的輸送機(jī)構(gòu)，每一個(gè)部分均包括一腔體，每一個(gè)所述腔體的入口端和出口端均設(shè)置有一個(gè)閥門，且位于上一所述腔體出口端的所述閥門與位于下一所述腔體入口端的所述閥門之間設(shè)有所述輸送機(jī)構(gòu)。本發(fā)明利用多個(gè)封閉的腔體和輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行生產(chǎn)硅薄片和輸送基板，使用方便，硅片生產(chǎn)效率高，自動化程度高，無需切割等磨損硅片的操作。