一種投影式遠(yuǎn)端掩模板光刻方法及其設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010518861.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111552152A | 公開（公告）日 | 2020-08-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111552152A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-18 |
| 分類號(hào) | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 吳陽(yáng);嚴(yán)振中 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 赫智科技（蘇州）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京同輝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 赫智科技（蘇州）有限公司 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)若水路388號(hào)H402室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種投影式遠(yuǎn)端掩模板光刻方法及其設(shè)備，包括以下步驟：步驟1：首先紫外光和指引光分別通過第一準(zhǔn)直透鏡組和第二準(zhǔn)直透鏡組進(jìn)行準(zhǔn)直處理；步驟2：在步驟1的光進(jìn)入二向色鏡進(jìn)行合束，通過聚焦透鏡組射入勻光模組的入射端面；步驟3：通過第三準(zhǔn)直透鏡組；步驟4：步驟3中的準(zhǔn)直光通過反射鏡反射至第一分光片，并反射至遠(yuǎn)端掩模板上；步驟5：步驟4中反射的光將帶有遠(yuǎn)端掩模板上的信息，與第二分光片和照明光進(jìn)行合束處理；步驟6：步驟5中將合束的帶有信息的光通過第三分光片，光束打至樣品上，照射出遠(yuǎn)端掩模板上的信息，實(shí)現(xiàn)信息的轉(zhuǎn)移；步驟7：最后通過相機(jī)對(duì)樣品進(jìn)行實(shí)時(shí)成像觀測(cè)。本發(fā)明不會(huì)污染掩模板且成本更低。?? |
