一種適用于光刻機(jī)設(shè)備外殼的結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020890908.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211741834U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-10-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211741834U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-23 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F7/20(2006.01)I | 分類(lèi) | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 吳陽(yáng);嚴(yán)振中 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 赫智科技（蘇州）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京同輝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 赫智科技（蘇州）有限公司 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)若水路388號(hào)H402室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種適用于光刻機(jī)設(shè)備外殼的結(jié)構(gòu)，包括光學(xué)面包板、設(shè)備門(mén)、頂板和外殼，光學(xué)面包板和頂板分別設(shè)置在外殼的底部和頂部位置，設(shè)備門(mén)可移動(dòng)的連接設(shè)置在外殼的前端面位置上，外殼的內(nèi)部左右兩側(cè)均設(shè)置有擋板，液壓機(jī)構(gòu)固定設(shè)置在外殼上，液壓機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)端通過(guò)伸縮臂與設(shè)備門(mén)驅(qū)動(dòng)連接設(shè)置，頂板的底部位置設(shè)置有轉(zhuǎn)軸，連桿的底部和頂部分別與轉(zhuǎn)軸和設(shè)備門(mén)鉸接。本實(shí)用新型一種適用于光刻機(jī)設(shè)備外殼的結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，防塵、易于安裝和拆卸；本實(shí)用新型的開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)采用液壓上下開(kāi)合方式，有效的節(jié)省了空間。?? |
